Àyẹ̀wò ìfọ́jú ojú ilẹ̀, gíga ìgbésẹ̀ àti fífẹ́ fíìmù tín-ín-rín lórí àwọn wafer semiconductor, àwọn lẹ́ńsì opitika tí ó péye àti àwọn èròjà tí a fi bo ara wọn ní tààrà láti pinnu ìṣẹ̀dá tí a mú jáde. Ìwádìí ìfọ́jú ìfọwọ́sowọ́pọ̀ àṣà ìbílẹ̀ máa ń fa àwọn àpẹẹrẹ onírẹ̀lẹ̀, nígbà tí àwọn ohun èlò ìwọ̀n opitika lásán kò lè ṣe ìpele nano. Báwo ni a ṣe lè ṣe àṣeyọrí ìdánwò tí kò ní ìparun, ìpéye nano gíga àti àyẹ̀wò iṣẹ́-ọnà gíga ní àkókò kan náà?
Ẹ̀rọ ìwádìí tuntun ti ina funfun ile-iṣẹ Wavelength OE ní àwọn ọ̀nà ìwọ̀n interferometry méjì. Pẹ̀lú ìwádìí tí kò ní ìfọwọ́kàn, ó bo gbogbo iṣẹ́ láti ìwádìí àti ìdàgbàsókè yàrá sí QC ìṣelọ́pọ́ lórí ayélujára.
Àwọn Ọ̀nà Ìbáṣepọ̀ Méjì fún Gbogbo Ìrísí Ilẹ̀
Láìdàbí àwọn ẹ̀rọ ìwọ̀n-mode-kan, ètò yìí so àwọn algoridimu VSI (Vertical Scanning Interferometry) àti PSI (Phase-Shifting Interferometry) pọ̀, ó sì tẹ́ ẹ̀rọ kan lọ́rùn pẹ̀lú ẹ̀rọ kan.
| Ohun afiwe | VSI / CSI | PSI |
|---|---|---|
| Àwọn ojú ilẹ̀ pàtàkì tó wúlò | Àwọn ilẹ̀ tí ó nípọn, àwọn àtẹ̀gùn, àwọn ilẹ̀ tí kò ní ìtẹ̀síwájú àti àwọn ibi tí ó díjú | Àwọn ojú ilẹ̀ tó rọrùn gan-an, tó ń tẹ̀síwájú àti tó jẹ́ dígí |
| Iwọn Iwọn Giga Inaro | Ibiti o gbooro; o lagbara lati wọn awọn ihò jinjin ati awọn igbesẹ giga | Iwọ̀n tóóró; kò yẹ fún àwọn ìgbésẹ̀ ńlá tó ya sọ́tọ̀ |
| Ìpinnu Inaro | Ipele Nanometer; a le ṣee ṣe sub-nanometer pẹlu awọn algoridimu ti a ṣe iṣapeye | Ìpinnu tó ga jùlọ; àtúnṣe sí ìsàlẹ̀ sí ìpele sub-nanometer kódà ìpele sub-angstrom |
| Ifarada si Ipalara Dada | Gíga | Kekere |
| Ìpele Ambiguity | Ó fẹ́rẹ̀ má sí rárá; ìṣẹ̀dá iye gíga pípé wà | Ó lè jẹ́ àṣìṣe ìdìpọ̀ ìpele 2π |
| Wiwọn Iyara | Ó nílò ìwòran axial, ó lọ́ra díẹ̀ | Ó yára jù ní gbogbogbòò |
| Gbigbọn resistance | Ó ṣeé fara gbá nígbà tí a bá ń ṣe ìwòran | Iyipada ipele pupọ-fireemu, diẹ sii ni ifaramọ si gbigbọn |
| Awọn Ohun elo Aṣoju | Ríru, gíga ìgbésẹ̀, àwọn ohun èlò kékeré, àwọn ojú ilẹ̀ tí a fi ẹ̀rọ ṣe | Ìrísí ojú ilẹ̀ tó rọrùn gan-an, àwòrán ojú ilẹ̀ àti ìdánwò fífẹ̀ |
PSI (Ìyípadà Ìpele-Ìyípadà Interferometry): A mọṣẹ́ ní àwọn ẹ̀yà ara gíga kékeré nano àti àwọn fíìmù tín-tín-tín, tí ó ń fúnni ní ìpinnu tó ga jùlọ.
Dígí ọkọ̀ òfurufú
Dígí onígun mẹ́rin (Dígí onígun mẹ́rin)
Àpẹẹrẹ Àpẹẹrẹ Fọ́tògíráàmù
Ìlànà Ìwòran VSI Inaro: A ṣe àtúnṣe fún àwọn iṣẹ́ tí ó ní ìyàtọ̀ gíga ńlá àti àwọn ìgbésẹ̀ gíga; ìwọ̀n gbogbo wà láìsí ìwòran tí a pín sí méjì.
Àkójọpọ̀ ìbúgbà kékeré oníyípo lórí àwọn wáfárì tí a ti kó sínú àpò ìtẹ̀síwájú
Àkójọpọ̀ ìbúgbàù kékeré elliptical lórí àwọn wafers tí a ti kó jọ tẹ́lẹ̀
ìṣètò àwọn microlens
Ní ìbámu pẹ̀lú orísun ìmọ́lẹ̀ funfun tí ó wà ní ìṣọ̀kan 450–700 nm, ó lè dín ìmọ́lẹ̀ tí ó ń tàn kálẹ̀ kù láti inú ọ̀pọ̀lọpọ̀ àtúnṣe, ó sì ń ṣe iṣẹ́ ìdènà ìdènà tó lágbára. Pẹ̀lú àwọn àwọ̀ onípele púpọ̀, ẹ̀yà ara opitika yìí tí ó ní àtúnṣe díẹ̀ lè mú àwọn àmì ìdènà tí ó dúró ṣinṣin àti tí ó yàtọ̀ jáde, tí ó sì ń mú àwọn àbájáde ìwọ̀n tí ó jẹ́ òótọ́ àti tí ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé wá.
2. Àwọn Ìlànà Nano tó gbajúmọ̀ jùlọ ní ilé-iṣẹ́, Dáta tó ṣeé tọ́pasẹ̀ àti tó dúró ṣinṣin ní ìgbà pípẹ́
-Ètò náà gba orísun ìmọ́lẹ̀ funfun LED pẹ̀lú ìgbì gígùn àárín ní 550 nm, tí a ti pèsè pẹ̀lú àwọn ìlànà iṣẹ́ mojuto tó ga jùlọ tí ó bá àwọn ìlànà Ere kárí ayé mu.
-Ìpinnu inaro: ＜1 nm, àṣìṣe ìwọ̀n àtúnṣe: ＜10 nm, ìṣedéédé nanometer tòótọ́
-Iwọn iwọn inaro to pọ julọ: 500 μm, ko si nilo atunṣe ipo lẹẹkansi fun awọn ipilẹ kekere-giga.
-Iyára ìṣàyẹ̀wò: 100 μm/s, ìṣàyẹ̀wò pípé kan ṣoṣo tí a parí láàrín ìṣẹ́jú-àáyá 10, tí ó ṣe àtúnṣe ìṣedéédéé àti ìṣàyẹ̀wò.
-Ní ìbámu pẹ̀lú àwọn ìlànà tí a lè tọ́pasẹ̀ NIST, ìlànà ìṣàtúnṣe ara-ẹni tí a ṣe sínú rẹ̀ ń rí i dájú pé àwọn ìwífún tí a lè tọ́pasẹ̀ déédéé wà ní ìbámu pẹ̀lú àwọn ìlànà QC tí ó yẹ fún àwọn ilé iṣẹ́ semiconductor àti opitika.
| Ohun kan | Pílámẹ́rà |
| Agbára Wíwọ̀n | Ìrísí ojú ilẹ̀ 3D, àìrísí ojú ilẹ̀, gíga ìgbésẹ̀ àti sísanra fíìmù àwọn ohun èlò tí ń tànmọ́lẹ̀ àti àwọn èròjà opitika |
| Ipo Gbigba Data | Ìwádìí Ìṣàyẹ̀wò Òró (VSI) + Ìyípadà Ìpele-Ìyípadà Ìpele (PSI) |
| Ètò Ìṣàtúnṣe | Ìwọ̀n NIST tí a lè tọ́pasẹ̀ + alugoridimu ìṣàtúnṣe aládàáṣe |
| Iwọn Iwọn Inaro | 500 μm |
| Pápá Ìwòran | 20× àfojúsùn: 0.87 × 0.65 mm |
| Iṣẹ́ Kámẹ́rà | Ìpinnu Tó Pọ̀ Jùlọ: 2048×2448; Ìwọ̀n Férémù: 74 Fps; Ìjìnlẹ̀ Bit: 12 bit |
| Iyara Ṣíṣàyẹ̀wò | 100 μm/s (Ipo Pípéye) |
| Àwọn Àṣàyàn Lẹ́ǹsì Àfojúsùn | Àwọn ibi-afẹ́de ìfẹ̀sí 20x / 50x tí a lè ṣàtúnṣe |
| Apẹrẹ Fifi sori ẹrọ | Pẹpẹ ìyàsọ́tọ̀ gbigbọn ti nṣiṣe lọwọ ti a ṣe sinu rẹ, fifi sori ẹrọ petele ati inaro wa |
| Ìwọ̀n Àpapọ̀ (L×W×H) | 120 × 80 × 65 cm |
| Apapọ iwuwo | ≤58 kg |
3. Apẹrẹ Kabinet Iṣẹ́-ọnà, Ti o baamu pẹlu Laabu & Iṣẹjade Laini
A ṣe iṣapeye fun awọn idanileko iṣelọpọ ibi-pupọ ati awọn ile-iṣẹ iwadii imọ-jinlẹ pẹlu ibamu fifi sori ẹrọ ti o rọ.
Pẹpẹ ìyàsọ́tọ̀ gbigbọn ti a ṣe sinu rẹ: Iwọn iduroṣinṣin labẹ gbigbọn ile-iṣẹ, ko si tabili iyasọtọ gbigbọn afikun ti a nilo.
Eto fifi sori ẹrọ meji: Eto petele tabi inaro, iṣọpọ irọrun pẹlu awọn laini iṣelọpọ adaṣe ati awọn ibi iṣẹ yàrá.
Ara kekere ti o ni gbogbo-ni-ọkan: Ẹsẹ kekere pẹlu iwọn 120×80×65 cm, iwuwo ≤58 kg, imuṣiṣẹ ti o rọrun lori aaye.
Eto naa ni kikun ti o so orisun ina, ẹya akọkọ interferometer ati module iṣakoso pọ. Fi-pọ-ati-mu ṣiṣẹ lẹhin ti o ba ti ṣii, ko si atunṣe ọna opitika ti o nira ti o nilo.
Ibora Ohun elo jakejado fun Iṣelọpọ Giga-Konge
Ile-iṣẹ Semiconductor: Ayẹwo ilẹ 3D ati giga igbesẹ ti awọn wafers silikoni ati awọn eerun micro-nano.
Àwọn Optics Precision: Ìdánwò líle àti sisanra fíìmù fún àwọn lẹ́ńsì opitika, àwọn ibi-afẹ́de àti àwọn èròjà opitika tí a fi abẹ́ bo.
Àwọn Àwọ̀ Tuntun Tó Ń Ṣiṣẹ́: Ìṣàyẹ̀wò ojú ilẹ̀ àti bí ó ṣe nípọn ti àwọn àwọ̀ tó ń ṣe àfihàn àti àwọn fíìmù tó tinrin tó ń ṣiṣẹ́.
Àwọn Ilé Ìwádìí Ìmọ̀ Sáyẹ́ǹsì: Ìṣàfihàn ìṣètò Micro-nano àti ìdánwò ìrísí àwọn ohun èlò tó péye.
Pẹ̀lú ọ̀pọ̀ ọdún ìrírí iṣẹ́ ní R&D opitika, Wavelength OE ń ṣe àgbékalẹ̀ gbogbo ipa ọ̀nà opitika pàtàkì àti àwọn algoridimu ìwọ̀n fún àwọn interferometers ìmọ́lẹ̀ funfun. Ìṣàkóso ìmọ̀-ẹ̀rọ kíkún láti orísun ìmọ́lẹ̀, àwọn lẹ́ńsì ohun-ìṣe sí àwọn ètò ìṣàtúnṣe. Gbogbo ẹ̀rọ náà ń ṣe àtúnṣe ìṣedéédéé onípele-pupọ kí a tó fi ránṣẹ́. A ń pèsè ìrànlọ́wọ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ lẹ́yìn títà, a sì ń ṣe àtúnṣe àwọn ojútùú ìwọ̀n pàtàkì tí ó dá lórí ìwọ̀n iṣẹ́ oníbàárà àti àwọn ìbéèrè laini iṣẹ́-ṣíṣe aládàáni.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Keje-15-2026