A sábà máa ń lo àwọn lẹ́ńsì F-Theta pẹ̀lú àwọn dígí oníṣẹ́-àyẹ̀wò galvanometer nínú lílo lílò, gígé, àti sísàmì lésà. Lọ́pọ̀ ìgbà, ìyípadà F-Theta ti lẹ́ńsì náà kò ju 1% lọ kí ó lè ṣe ààyè pàtó kan ní pápá pẹrẹsẹ lórí àwòrán náà.
Ìfaradà Ìwọ̀n Ìwọ̀n Ìwọ̀n Ìwọ̀n: +0/-0.13mm
Ifarada Sisanra: ±0.25mm
Ìfaradà Gígùn Àfojúsùn: ±2%
Ìyàtọ̀ sí Ìwúwo Etí (ETV): ≤3 arc min.
Afẹ́fẹ́ tí ó mọ́: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
Dídára ojú ilẹ̀: 40-20 SD
Àwọ̀ AR: R<0.2% fún ojú kan @10.6μ